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螺旋推進燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。
為了保持粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進行,燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行正確的控制。
螺旋式連續推進加熱爐(氮氣保護)
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保持爐內保護氣氛暢通。
(3)爐內的各段溫度可控,燒結氣氛可調。
(4)具有快速冷卻裝置,可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。
螺旋式連續推進加熱爐(氫氣保護)
1、用前級機械泵系統預抽真空,同時對爐體進行加熱,有真空壓力表可檢測爐內真空。
2、當真空度達到預定指標時,關閉真空泵。從充氣孔持續充入適當計量的氨氣和氮氣混合氣體,并使爐內氣壓略高與大氣壓,氣體從排氣口排出。有氣壓計可檢測爐內氣壓。
3、當爐體加熱區域溫度達到預定指標時,啟動設備右側的空氣隔離進料機(簡稱進料機)連續進料,同時啟動螺旋推進電機使物料自右向左移動。
4、啟動設備左側的空氣隔離出料機(簡稱出料機)連續出料。
5、待物料全部進入進料機后,停止進料,螺旋推進電機繼續工作。
6、待出料機沒有物料排出后停止螺旋推進電機和出料機。
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